探針卡（probe card）是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中晶圓測(cè)試（wafer test）中被測(cè)芯片（chip）和測(cè)試機(jī)之間的接口，其使用原理是將探針卡上的探針與芯片上的焊墊（pad）或凸塊（bump）直接接觸，導(dǎo)出芯片訊號(hào)。再配合周邊測(cè)試儀器與軟件控制達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)晶圓。
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